AXSYS AL120-WM

AXSYS AL120-WM 

 

4’’/6’’/8’’晶圆搬送机及Wafer Mapping

 

应用特点：

针对4’’/6’’/8’’晶圆搬送及检查，整合电动台，自动OCR，Wafer Alignment，配合wafer mapping系统。可以读取上一站的wafer mapping，实现review，bincode编辑等，并可以继续上载mapping，供下一站适用。可编程自动跑位、拍照，减轻人工负荷。

设备优势：
·奥林巴斯AL-120晶圆搬送机平台
·奥林巴斯MX63显微镜
·200mm X 200mm 电动平台
·Z自动聚焦
·自动wafer Alignment
·OCR Wafer ID 读取
·可编辑的wafer map，适用多种SEMI标准格式
·Bincode的生成和配置
·SECS/GEM 连线