AXSYS AX120

6’’/8’’/12’’Wafer Review System/Verify Rework Station

应用特点：
针对6’’/8’’/12’’晶圆搬送及检查，整合电动台，自动OCR，Wafer Alignment，配合独有的wafer mapping系统。可以读取上一站的wafer mapping，实现review，bincode编辑等，并可以继续上载mapping，供下一站适用。

可配备多可Load Port, 实现Wafer Sorter功能。

设备优势：
•配备1或2套3轴机械手臂
•奥林巴斯MX63显微镜
•最大300mm X 300mm 电动平台
•Z自动聚焦
•自动wafer Alignment
•OCR Wafer ID 读取
•可编辑的wafer map，适用多种SEMI标准格式
•Bincode的生成和配置
•SECS/GEM 连线
•Class 1净化等级