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晶圆内应力缺陷检测

什么是SIRD? SIRD正在扫描红外线去极化量测仪。SIRD利用非接触和非破坏性技术测量光学透明材料中的应力,用于: 最大可达300mm的硅晶圆 复合材料 太阳能电池 为什么需要SIRD? 原因是在...

VPD 倒角扫描

什么是倒角扫描? 倒角扫描是一种VPD方案,扫描1 - 5mm的晶圆片边缘,收集晶圆片边缘的金属(包括晶圆片表面和背面)。 为什么需要倒角扫描? 原因是: 1.为了确认晶圆夹是否干净,晶圆片...

清洗之后钢网少孔的检测

背景: 钢网是SMT制程质量的核心,钢网的好坏直接影响到SMT的好坏,清洗过之后的钢网有些孔位易被锡膏堵住,若是用人工检测,不但效率低下,还有漏失风险。 YCT公司开发的ASI606 钢...

Wirebond 线弧弧长的测量

背景: RF芯片的性能影响因素之一,包括其内部线弧的弧长尺寸,因此越来越多的设计者要求管控其弧长长度,来保证其性能。在此前,多数客户均是进行破坏性的测量,即将打好的线...

带透光膜的Wafer厚度测量

背景: 行业中为了保证一整片wafer能有效方便地在各个工段中进行运转,通常在wafer背面会贴上透光膜并置于Ring上进行运转。而有些工序中需要管控wafer的厚度,但接触性的测量会导致...

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